为什么液氮阀门关小到一定程度后流量反而升高呢

各位：
我公司空分液氮阀门最近接连出过几次故障：
由下塔向上塔打液氮的阀门是由PID控制的，
& R$ B$ @; p2 q7 r& t+ ?当程序控制减量的时候，设定值下降，阀门缓慢关小，
5 I  a& e# |) @7 c5 M6 n% ]流量计流量测量也慢慢降低，
可是当阀门降低29度左右，流量降低到22000Nm3/H左右时，
, t4 _& ?& ~5 O突然流量不断增加，即使阀门继续关小，流量仍然上升。
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3 V" e2 x) D& Q! H9 C不知道怎么回事，请教大家帮忙分析一下！

- s+ {7 F( t% S: B此阀门是液氮进上塔的阀门，阀门管径150mm，
1 D1 h5 M# y% j9 G* C) f流量计是孔板流量计，最大流量和最小流量是42000---14000Nm3/h。
% h, a6 Y2 b+ a" u# Q阀门在流量计之后，靠近塔的一侧。
并且可以肯定的是阀门的确是关闭了，因为在液氮进塔之下向液氮罐取液氮的流量也没有了，可以证明，此时是真的没有液体打到上塔了。
' q8 l  {% h9 J附图，红色为流量，绿色为阀门开度！

如果确认阀门是全关，而且流量仍然上升。建议仪表人员从孔板流量计用在低温液体中的特性上分析一下。
从流量变化的时间看，第二次比第一次时间长，如果是流量瞬间的假信号，造成阀门全关，
也确定阀门动作是正常的。建议将阀门转入手动状态保持阀门开度，既不影响上塔精馏，看一下流量还会如何变化？

正常都不可能 1仪表不准2液氮回流阀芯脱落
再说下流量计测的是气体，不是液体