第一代:高低压循环,氮气透平膨胀,吸收法除杂质;# @7 d1 M2 r0 S4 h& m
第二代:石头蓄冷器,空气透平膨胀低压循环;: D- E6 J- L" n3 ~5 p
第三代:可逆式换热器;1 r+ J& w. o* W- s
第四代:分子筛纯化;
. R( h, h) T" c: G0 h第五代:规整填料,增压透平膨胀机的低压循环;6 T! Z% Z: W: w" d8 M/ P
第六代:内压缩流程,规整填料,全精馏无氢制氩。
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