第一代:高低压循环,氮气透平膨胀,吸收法除杂质;& U, N* n0 {; X
第二代:石头蓄冷器,空气透平膨胀低压循环;
$ u4 Q1 \7 ]9 j( A2 {第三代:可逆式换热器;+ @ F5 b. m: s! P4 c* l
第四代:分子筛纯化;
. @4 I# K' D: f( q2 O' Z* p4 \第五代:规整填料,增压透平膨胀机的低压循环;
, Z9 l w! S" X) b- v" _第六代:内压缩流程,规整填料,全精馏无氢制氩。/ U2 `2 u# R, w2 u* ?, G
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