第一代:高低压循环,氮气透平膨胀,吸收法除杂质;$ b) Y, A) P$ p+ `( s3 Q+ i
第二代:石头蓄冷器,空气透平膨胀低压循环;
( u, ?$ e4 L7 N* Y第三代:可逆式换热器;0 L1 U% f6 j: v9 S8 t8 t, p
第四代:分子筛纯化;
H4 ~, ]8 a7 S+ I5 c% ^2 U第五代:规整填料,增压透平膨胀机的低压循环;
9 J* b4 J$ ], o2 ?1 C* ]第六代:内压缩流程,规整填料,全精馏无氢制氩。1 w9 j4 c7 [! F+ G, h
|