第一代:高低压循环,氮气透平膨胀,吸收法除杂质;
% d! h+ X& M4 e4 K% {, [; ~' m第二代:石头蓄冷器,空气透平膨胀低压循环;
: i0 m3 v" \" B( m/ X7 W第三代:可逆式换热器;. {: @- t# n8 |" ~9 f5 r' m X5 X
第四代:分子筛纯化;4 ?; ^+ X. p8 |# ?' ]6 u
第五代:规整填料,增压透平膨胀机的低压循环;& M4 u, R7 x8 P% ^* i H1 d' E$ C0 s
第六代:内压缩流程,规整填料,全精馏无氢制氩。/ X( o( G3 A) \ c D( g7 [
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