2025年9月30日,据外媒报道,全球工业气体巨头液化空气集团宣布将投资1.3亿欧元,在新加坡建造两套先进的空气分离装置(ASU),以支持当地一家半导体制造商的扩张计划。
这两套装置将专门生产超高纯度氮气,这种气体在芯片制造过程中至关重要,用于清洗设备和生产室,并保护芯片组件免受污染。此外,ASU还将配备先进的自动化和预测性维护技术,以提升生产效率和运行可靠性。
液化空气集团副总裁罗尼·查尔默斯表示:“此次投资进一步巩固了液化空气在全球半导体行业的技术合作伙伴地位,特别是在亚洲和全球快速扩张的背景下。”
预计这两座空分装置将于2027年正式投入运营。此次投资是液化空气集团在新加坡一系列举措的延续。今年6月,该集团还宣布将在新加坡淡滨尼晶圆制造园区新建一座工业气体生产设施,投资金额达7000万欧元。新工厂将向宏光半导体制造有限公司供应超高纯度氮气、氧气、氩气等关键气体。宏光半导体是由中国台湾万兆国际半导体公司与荷兰恩智浦半导体公司合资成立的企业,目前正在新加坡投资105亿美元建设一座300毫米晶圆制造厂,预计2027年投产。
此次液化空气集团的投资不仅为新加坡半导体产业提供了重要的气体供应保障,也展现了其在全球半导体产业链中的关键作用和持续投入的决心。