扬州造电子气体精琢中国芯

小芸

日前，在位于维扬经济开发区生态科技园的扬州摩笛尔电子材料有限公司，技术总监杨先金博士抱起一只比普通灭火器略大的绿色气罐向记者介绍说，气罐里装着该公司研发的高纯电子气体“特摩尔”，30公斤装，售价高达4.5万元，“这种气体可用于加工最新一代晶圆及抗癌药物制备、精密仪器清洗等领域，填补了国内空白。”



纳米级应用“精雕细琢”助力国产芯片升级加速

电子气体是集成电路、光电子、微电子特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性材料，主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺，被称为电子工业的“血液”和“粮食”，它的纯度和洁净度直接影响着电路及器件的精确性和准确性。

摩笛尔研发出的“特摩尔”，就是一种新型干蚀刻电子气体。杨先金介绍，特摩尔具有蚀刻条件温和、蚀刻损伤少、蚀刻精度高、环境友好等优势，“它可用于加工最新一代晶圆及抗癌药物制备、精密仪器清洗等领域，助力国产芯片升级加速。”

杨先金说，人们常说的芯片，就是在晶圆片上刻蚀出晶体管制作而成的电路结构，晶圆数值越低，就越能提升芯片的性能和降低芯片的尺寸，同时有效降低功耗和发热量。因此，最新一代的晶圆已经达到了纳米级。“在纳米级的晶圆上‘干活’，比在头发丝上作画都要复杂精细。”杨先金表示，“特摩尔”之所以能够做到“精雕细琢”，除了具有腐蚀性外，其纯度也很高，“与一般电子气体99.99%的纯度相比，特摩尔的纯度达到了99.995%，能够有效降低芯片加工过程中的次品率。”

杨先金介绍，目前产品正处于中试期间，售价比较优惠，待量产后预计将卖到200万元/吨。



政企同发力，海归博士组团研发，专项资金大力扶持

这家年轻的扬州公司，为何能够研发出填补国内空白的高精尖产品？

据介绍，该公司研发团队由七名海归博士组成。这支阵容豪华的队伍，研发方向横跨半导体、河口海洋分析、计算机智能控制技术、生物制药等领域，为实验室技术向工厂化工艺推进，奠定了雄厚的研发力量。尤其是领衔团队的张嘉恒，他多年来从事绿色电子气体的制备与高纯度研究，开发出“气体中超微量杂质的富集技术”“微量未知气体杂质结构解析技术”“气体低温精馏提纯技术”等多项新技术。

“产品研发成功，也离不开政府部门的大力支持。”杨先金介绍，公司前不久获得了市天使（人才）专项资金200万元。“在各级政府的关心和支持下，公司发展大大超出预期。目前，我们正与扬州一家化工企业洽谈，准备上马设备，预计今年产能能达到100吨，实现销售2亿元。”