第一代：高低压循环，氮气透平膨胀，吸收法除杂质；+ k2 P9 d2 n. G( ?' q
第二代：石头蓄冷器，空气透平膨胀低压循环；
% q: z! u" _0 r4 V, L/ \7 x R9 k" Z第三代：可逆式换热器；
) D5 j% t* `2 J$ B4 t第四代：分子筛纯化；8 q. j( \7 B$ J; {, l7 h
第五代：规整填料，增压透平膨胀机的低压循环；! D8 p2 _+ ?3 w) V5 L- u, L! A
第六代：内压缩流程，规整填料，全精馏无氢制氩。4 U1 x6 L$ [0 ]) x
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