第一代:高低压循环,氮气透平膨胀,吸收法除杂质;
. M5 x5 G; j; X, c第二代:石头蓄冷器,空气透平膨胀低压循环;# Y1 k: U6 r3 q' u2 G6 t
第三代:可逆式换热器;9 v8 q, U, l6 T2 }3 f' j
第四代:分子筛纯化;
9 E; E- ]) c9 X* I7 M第五代:规整填料,增压透平膨胀机的低压循环;
2 b' H* z+ }' {) O6 C% L第六代:内压缩流程,规整填料,全精馏无氢制氩。
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