第一代:高低压循环,氮气透平膨胀,吸收法除杂质;
1 _ O, O! |/ J- W- e- ]" B第二代:石头蓄冷器,空气透平膨胀低压循环;+ w8 x* O, y* F* \# t6 U
第三代:可逆式换热器;
3 \7 E! b+ f% w, e5 U1 t' ~* R第四代:分子筛纯化;3 U$ @0 v8 C! I2 u- K
第五代:规整填料,增压透平膨胀机的低压循环;
' b. L7 c2 l5 N) M6 D" R第六代:内压缩流程,规整填料,全精馏无氢制氩。
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