第一代：高低压循环，氮气透平膨胀，吸收法除杂质；4 a i. S5 X9 j5 H* }$ O8 ?
第二代：石头蓄冷器，空气透平膨胀低压循环；7 C* b: n, b) y$ L: U* Z
第三代：可逆式换热器；# t4 P3 |4 H6 M8 Q
第四代：分子筛纯化；
+ z7 M6 _, z& l. H7 x" d. H% Y第五代：规整填料，增压透平膨胀机的低压循环；
9 _% S+ ~/ |" {- X5 B第六代：内压缩流程，规整填料，全精馏无氢制氩。2 b" b* D, l1 p- E6 h d; Y. n- ~
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