第一代:高低压循环,氮气透平膨胀,吸收法除杂质;( _* y& H1 b! W$ d) \6 J
第二代:石头蓄冷器,空气透平膨胀低压循环;4 U' E! L3 X# w" n9 @8 ^! f" f) g: a
第三代:可逆式换热器;+ l: k" z( w, F* u
第四代:分子筛纯化;
- b" H% S5 l" x G5 _第五代:规整填料,增压透平膨胀机的低压循环;) }& @3 e7 [6 G' { W
第六代:内压缩流程,规整填料,全精馏无氢制氩。1 f* c7 Q- A$ X# J7 A8 y, x
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