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3月22日，广东华特气体股份有限公司与四川红华实业有限公司签署了高纯三氟化氯生产技术合作开发协议。 高纯三氟化氯主要用于芯片制程中的蚀刻、硅片和腔体清洗，由于其高氟碳比和较强的氟离子自由基，在先进制程中的应用越来越广泛，特别在14nm以下制程中，是不可替代的新型蚀刻材料。此外，高纯三氟化氯相比于普通的氟碳蚀刻材料，其极低的GWP值（全球变暖潜能值），也满足未来芯片制程向更环保、更加可持续发展的需求。  此次合作，双方充分发挥多年的研究、应用成果和科研团队优势，进一步实现技术突破，从而达到进口替代的目标，并同时对促进国家半导体行业的发展上具有重要意义。随着半导体工艺的不断升级迭代，未来高纯三氟化氯在芯片制造、第三代半导体、面板等行业拥有广阔的市场潜力。此次合作将有助于提高华特气体的盈利能力和核心竞争力，助力公司深耕特种气体行业。 |
2021-01-18
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